www.mexanik.ru

ПРЕДИСЛОВИЕ

Физика электронных пучков уже не раз служила исходным пунктом для промышленных разработок. Рентгеновские и электронно-лучевые трубки, телевидение и электронная микроскопия сегодня занимают значительное место в науке и технике. В течение последних 20 лет сформировалась еще одна самостоятельная научно-техническая область — электронно-лучевая технология. В этой новой области электронные пучки непосредственно используются для осуществления технологических процессов. Возможные применения электроннолучевой технологии простираются от получения субмикроскопических структур в микроэлектронике до выплавки крупных слитков в металлургии. Общим для всех этих установок является использование электронных пучков.

Поэтому представляется целесообразным провести обзор электронно-лучевой технологии и обобщить ее опыт как единой области науки и техники. В гл. 1 дана общая характеристика электронно-лучевой технологии, гл. 2 посвящена электронным пушкам — серцевине всех электронно-лучевых установок. При построении дальнейшего изложения (гл. 3—8) авторы стремились давать законченное описание каждого из рассматриваемых способов электронно-лучевой технологии. Это позволяет читателю проводить и систематический обзор по отдельным частным направлениям.

Современные уровни знаний в данной области и применение электронно-лучевой технологии в промышленности являются результатом работы многих коллективов в ГДР и за ее пределами. Ряд этих коллективов оказывал нам помощь, предоставляя результаты своих работ и иллюстративные материалы. Приносим им за это нашу благодарность. Сердечно благодарим также тех наших коллег по Научно-исследовательскому институту М. фон Арденне, которые принимали деятельное участие в подготовке рукописи и иллюстративного материала.

Авторы

Назад, на страницу описания