www.mexanik.ru

ПРЕДИСЛОВИЕ

Гальваномагнитные эффекты — универсальный инструмент исследования фундаментальных свойств материалов. Они дают возможность анализировать кинетические процессы, происходящие в материалах и структурах, создаваемых на их основе, и широко используются как для исследования свойств электронного переноса новых материалов, так и для стандартного контроля параметров при производстве полупроводниковых приборов.

Ведущее место в исследовании параметров электронного переноса среди гальваномагнитных эффектов занимает эффект Холла. Он один дает больше информации о чистоте полупроводника или точке фазового перехода его структуры, чем любой другой метод исследования. Поэтому несостоятельны высказывания некоторых ученых о снижении роли гальваномагнитных эффектов с появлением новых методов, таких как емкостная спектроскопия глубоких уровней, вторичноионная массспектроскопия и др. Хотя новые методы и позволяют получить некоторые дополнительные сведения о наличии в структуре дефектов или примесных атомов, они непригодны для определения кинетических параметров электронного переноса.

В последнее время все большее внимание уделяется разработке и применению методов исследования магниторезистивных эффектов, успешно используемых для определения параметров электронного переноса в многослойных структурах и, что особенно важно, в эпитаксиальных слоях на проводящей подложке. Получили развитие ранее малоизвестные магнитоплазменные методы диагностики полупроводников. Они отличаются возможностью бесконтактных и локальных измерений и позволяют определять изотропную структуру параметров переноса.

С появлением разработок новых приборов на основе многослойных полупроводниковых структур, например приборов со сверхрешетками или приборов с баллистическим переносом, повысилась роль гальваномагнитных эффектов в определении профиля параметров электронного переноса.

Гальваномагнитные эффекты скрывают в себе множество невыявленных возможностей. Ярким свидетельством этого является открытый сравнительно недавно квантовый эффект Холла.

Целью данной работы являются критический анализ и систематизированное освещение новых методов, определение их места среди ранее известных, описание современных решений и способов интерпретации результатов исследований. В книге даны рекомендации по рациональному выбору методов исследования. Возможно, некоторые достойные внимания вопросы не нашли отражения, но автор надеется, что изложенные сведения помогут экспериментаторам выбрать и обосновать направления исследования гальваномагнитных эффектов, подготовить эксперимент и корректно интерпретировать полученные результаты.

Назад, на страницу описания