www.mexanik.ru

ПРЕДИСЛОВИЕ ПЕРЕВОДЧИКОВ

За последние два-три десятилетия произошел качественный переход от теоретических исследований к практическому использованию большого числа новых полупроводниковых материалов. Удалось разрешить многие технологические вопросы, связанные с получением объемных монокристаллов, тонких и сверхтонких авто- и гетероэпитаксиальных слоев и созданием сложнейших приборных и схемных структур. Для решения указанных проблем широко применялись методы травления. Эти методы использовались на отдельных этапах технологического процесса производства материалов и структур. Кроме того, они служили инструментом исследования кристаллической структуры.

Травление является относительно простым процессом для реализации и позволяет исследователю достаточно быстро получить информацию о действительной структуре материала. Однако для адекватной интерпретации результатов травления необходимо как знание физико-химических процессов, определяющих растворение кристалла, так и понимание назначения основных компонент травителей, их взаимодействия, роли примесей и т. д. Вышеуказанные работы по данной проблематике в основном разрознены по отдельным изданиям, так что потребность в систематизированном изложении всего круга вопросов, относящихся к данному предмету, велика. Предлагаемая монография, переведенная на русский язык, поможет восполнить пробел в отечественной литературе и принесет пользу широкому кругу исследователей. Она будет интересна как лицам, занимающимся изучением методов травления, так и тем, кто использует эти методы в своей повседневной работе.

А. В. Быстрицкий
Канд. техн. наук Т. И. Маркова

Назад, на страницу описания