Готра З. Ю.
Технология микроэлектронных устройств: Справочник. — М.: Радио и связь, 1991. — 528 с.: ил.
ISBN 5-256-00699-1
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.
Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
Просмотр оглавления
Просмотр предисловия
Просмотр отдельных страниц (в виде pdf-файлов):
стр. 100 - 144 Кб | стр. 200 - 160 Кб |
стр. 300 - 130 Кб | стр. 400 - 59 Кб |
Если у Вас медленный доступ в Интернет - выделите страницу правой кнопкой мыши и затем выберите из меню "Сохранить объект, как..." для того, чтобы видеть процесс сохранения страницы. Затем этот файл можно просмотреть программой Acrobat Reader.
Назад, к списку книг | Назад, на главную страницу |