ПРЕДИСЛОВИЕ

Технология микроэлектронных устройств (МЭУ) является основой производства современных радиоэлектронных средств. Уровень развития радиоэлектроники определяется достижениями в области технологии МЭУ.

Методы микроэлектронной технологии широко используются в процессах изготовления изделий приборостроения, вычислительных машин, элементов и устройств автоматики и др. Многие производства нерадиоэлектронного профиля также применяют методы микроэлектронной технологии.

Современная технология МЭУ базируется на новейших достижениях в областях физики, химии, математики, материаловедения, автоматизации и управления.

Производство МЭУ включает механическую, тепловую, электронную, ионную, плазменную, лазерную и другие виды обработки, позволяющие в вакууме, контролируемой газовой среде, атмосфере целенаправленно изменять и задавать электрофизические параметры полупроводниковых, диэлектрических, резистивных, проводящих материалов и структур на их основе.

В настоящее время отсутствует издание, включающее комплекс основных базовых технологических процессов, используемых при производстве МЭУ, начиная с методов создания монокристаллических материалов с заданными свойствами структур на их основе до сборки и герметизации конструктивно законченных устройств.

В предлагаемом справочнике собраны основные сведения по базовым технологическим процессам МЭУ. Рассматриваются методы получения, очистки и легирования монокристаллических материалов, процессы диффузии, эдитаксии, ионной имплантации, литографии, методы получения тонких пленок, паяных и сварных соединений, герметизации устройств. Приводятся основные свойства и параметры материалов, оборудование, обеспечивающее проведение технологических процессов.

В связи с быстрым моральным старением устройств и оборудования базовые технологические процессы рассматриваются без привязки к конкретным МЭУ, а изложение носит описательный характер.

При написании справочника использовано более 1000 отечественных и зарубежных литературных источников. С целью сокращения объема ссылки на них в тексте опущены, а приведенный список использованной литературы включает лишь основные монографии в области технологии МЭУ.

Справочник предназначен для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.

Назад, на страницу описания