ПРЕДИСЛОВИЕ

Для успешного развития электронной техники необходимым условием является разработка прогрессивных, экономичных, экологически чистых, безотходных технологических процессов, обеспечивающих электронную промышленность высококачественными материалами. Полупроводники и диэлектрики являются группой материалов электронной техники, на основе которых изготовляются активные и пассивные компоненты электронной аппаратуры. Технологические процессы получения этих материалов в виде монокристаллов, стекла, керамики имеют много общего, взаимодополняющего, что делает целесообразным их совместное рассмотрение.

Уровень и темпы развития технологии полупроводниковых и диэлектрических материалов неразрывно связаны с подготовкой высококвалифицированных специалистов. Роль технолога в современной промышленности значительно возросла, поскольку синтез новых материалов или совершенствование уже освоенных позволяет разрабатывать приборы с уникальными характеристиками, способные существенно повысить функциональные возможности электронной аппаратуры. Усложнение производства, а также значительное расширение номенклатуры выпускаемых материалов требуют от будущих инженеров электронной техники углубленного изучения теоретических основ технологии. Это обеспечивает успех в создании управляемой технологии, в прогнозировании состава и свойств получаемых материалов. Многообразие процессов, используемых в технологии материалов электронной техники,

сведено к обобщенным физико-химическим закономерностям их протекания. Теоретические основы технологии изложены в сочетании с описанием конкретных процессов получения важнейших полупроводниковых и диэлектрических материалов.

Авторы приносят глубокую благодарность сотрудникам кафедр «Диэлектрики и полупроводники» и «Технология производства радиодеталей» ЛЭТИ им. В. И. Ульянова (Ленина), принимавшим участие в обсуждении ряда методических вопросов, и рецензентам — зав. кафедрой физики и технологии интегральной микроэлектроники МИЭТ д.-ру физ.-мат. наук, проф. В. Д. Вернеру и д-ру техн. наук, проф. В. М. Андрееву за полезные советы и замечания.

Отзывы и пожелания по книге можно направлять по адресу: 101430, Москва, ГСП-4, Нёглинная ул., 29/14, издательство «Высшая школа».

Авторы

Назад, на страницу описания