Основы вакуумной техники: Учебник для техникумов / А. И. Пипко, В. Я. Плисковский, Б. И. Королев, В. И. Кузнецов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Энергоиздат, 1981. — 432 с., ил.

Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, измерения общего и парциального давлении, методы обнаружения мест натекания. В отличие от первого издания 1975 г. во втором приводятся принципы построения вакуумных систем оборудования для нанесения тонких пленок и других установок полупроводникового производства.

Предназначена учащимся техникумов электронных приборов.

 

Просмотр оглавления

Просмотр предисловия

Просмотр предметного указателя

Просмотр отдельных страниц (в виде pdf-файлов):

стр. 100 - 92 Кб стр. 200 - 66 Кб
стр. 300 - 87 Кб стр. 400 - 51 Кб

 Если у Вас медленный доступ в Интернет - выделите страницу правой кнопкой мыши и затем выберите из меню "Сохранить объект, как..." для того, чтобы видеть процесс сохранения страницы. Затем этот файл можно просмотреть программой Acrobat Reader.

Назад, к списку книг Назад, на главную страницу